[实用新型]一种升华型基质沉积装置有效
| 申请号： | 201920554927.8 | 申请日： | 2019-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN209727582U | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 陈相峰;何启川;谢含仪;李慧娟;赵燕芳;赵梅 | 申请（专利权）人： | 山东省分析测试中心 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;F25B21/02;H05B3/02 |
| 代理公司： | 37221 济南圣达知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张庆骞<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 250014 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种升华型基质沉积装置，包括可密封的升华器室；所述升华器室底部设置有基质托盘，所述基质托盘上设置有基质容纳器，所述基质容纳器用于盛放基质的同时，限制基质升华路径；所述基质容纳器底部设置有加热装置；所述升华器室还连接有基质温控模块，所述基质温控模块与第一测温模块相连，所述基质容纳器顶部连接有样品架，所述样品架与冷却装置相连。 | ||
| 搜索关键词： | 基质 容纳器 升华器 基质托盘 温控模块 样品架 容纳器顶部 测温模块 基质沉积 加热装置 冷却装置 可密封 升华型 盛放 升华 | ||
【主权项】：
1.一种升华型基质沉积装置，其特征在于，包括：/n可密封的升华器室；所述升华器室底部设置有基质托盘，所述基质托盘上设置有基质容纳器，所述基质容纳器用于盛放基质的同时，限制基质升华路径；所述基质容纳器底部设置有加热装置；所述升华器室还连接有基质温控模块，所述基质温控模块与第一测温模块相连，所述基质容纳器顶部连接有样品架，所述样品架与冷却装置相连。/n
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