[实用新型]一种升华型基质沉积装置

权利要求书

1.一种升华型基质沉积装置，其特征在于，包括：

可密封的升华器室；所述升华器室底部设置有基质托盘，所述基质托盘上设置有基质容纳器，所述基质容纳器用于盛放基质的同时，限制基质升华路径；所述基质容纳器底部设置有加热装置；所述升华器室还连接有基质温控模块，所述基质温控模块与第一测温模块相连，所述基质容纳器顶部连接有样品架，所述样品架与冷却装置相连。

2.如权利要求1所述的一种升华型基质沉积装置，其特征在于，所述升华器室还与真空连接器相连。

3.如权利要求1所述的一种升华型基质沉积装置，其特征在于，所述冷却装置包括热传导臂，所述热传导臂一端伸入升华器室内，另一端输出升华器室。

4.如权利要求3所述的一种升华型基质沉积装置，其特征在于，伸入升华器室的热传导臂一端连接有珀尔帖冷模块；所述珀尔帖冷模块设置在样品架上；输出升华器室的热传导臂一端连接有散热器。

5.如权利要求4所述的一种升华型基质沉积装置，其特征在于，所述珀尔帖冷模块的两个侧面分别连接有导热板。

6.如权利要求5所述的一种升华型基质沉积装置，其特征在于，所述珀尔帖冷模块还与样品温控模块相连，所述样品温控模块与第二测温模块相连，用于实现在整个基质沉积过程中样品温度的恒温保持。

7.如权利要求1所述的一种升华型基质沉积装置，其特征在于，所述升华器室的顶部设置有第一盲板法兰，所述第一盲板法兰用于密封升华器室顶部，所述第一盲板法兰设有一个端口用于连接第二测温模块。

8.如权利要求7所述的一种升华型基质沉积装置，其特征在于，第一盲板法兰上的两个端口都配有密封圈，以提高密封性能。

9.如权利要求1所述的一种升华型基质沉积装置，其特征在于，所述升华器室的底部设置有第二盲板法兰，所述第二盲板法兰用于密封升华器室底部。

10.如权利要求1所述的一种升华型基质沉积装置，其特征在于，所述升华器室还连接有数字真空计，用于实时监测升华器室内的真空值。