[实用新型]一种多工位夹具与配套的清洗托架有效

专利信息
申请号: 201920535874.5 申请日: 2019-04-18
公开(公告)号: CN209773005U 公开(公告)日: 2019-12-13
发明(设计)人: 刘青彦;黄建友;杨清明;唐浚淇 申请(专利权)人: 成都晶宝时频技术股份有限公司
主分类号: B08B13/00 分类号: B08B13/00;B08B11/02
代理公司: 51268 成都虹盛汇泉专利代理有限公司 代理人: 王伟
地址: 611731 四川省成都*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开一种多工位夹具与配套的清洗托架,其包括:上掩膜板、定位片、下掩膜板、骨架、下护板、磁铁片和锁紧件,上掩膜板、定位片、下掩膜板、骨架和下护板分别设置有位置相对的通孔,通孔包括固定孔、用于卡住晶片上的晶片罩孔、安装磁铁片的磁铁孔和用于卡住磁铁片的磁铁罩孔,上掩膜板、定位片、下掩膜板、骨架和下护板重叠形成五层层叠的结构,五层结构利用锁紧件进行锁紧;该托架采用多工位方形夹具清洗晶片,对比之前使用的单片装的三角形夹具,同时清洗数量得到极大的提升,清洗效率同比提高50.6%,实现了清洗数量和效率的大幅度提升。
搜索关键词: 掩膜板 磁铁片 定位片 下护板 锁紧件 通孔 卡住 清洗 本实用新型 多工位夹具 三角形夹具 方形夹具 清洗晶片 清洗托架 清洗效率 位置相对 五层结构 磁铁孔 磁铁罩 多工位 固定孔 晶片罩 配套的 单片 晶片 锁紧 托架
【主权项】:
1.一种多工位夹具与配套的清洗托架,其特征在于,包括:上掩膜板、定位片、下掩膜板、骨架、下护板、磁铁片和锁紧件,所述上掩膜板、定位片、下掩膜板、骨架和下护板分别设置有位置相对的通孔,所述通孔包括固定孔、用于卡住晶片上的晶片罩孔、安装磁铁片的磁铁孔和用于卡住磁铁片的磁铁罩孔,所述上掩膜板、定位片、下掩膜板、骨架和下护板通过锁紧件穿过固定孔而依次重叠固定在一起,石英晶片安装于晶片孔内,所述骨架设置有晶片孔和磁铁孔,所述磁铁片安装于磁铁孔内。/n
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