[实用新型]一种用于扫描电镜快速进样的限高限宽装置有效
申请号: | 201920525408.9 | 申请日: | 2019-04-17 |
公开(公告)号: | CN210467756U | 公开(公告)日: | 2020-05-05 |
发明(设计)人: | 曲迪;王磊;李康;陈景春;宋学颖;姬静远;梁娟 | 申请(专利权)人: | 天津华慧芯科技集团有限公司 |
主分类号: | H01J37/28 | 分类号: | H01J37/28;H01J37/20 |
代理公司: | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101 | 代理人: | 蒙建军 |
地址: | 300467 天津市滨海新区生态城*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种用于扫描电镜快速进样的限高限宽装置,包括支撑底座、垂直固定支杆、水平固定支杆和三个活动支架,垂直固定支杆的底端固定在支撑底座上,水平固定支杆与垂直固定支杆连接固定,垂直固定支杆和水平固定支杆均为中空结构,垂直固定支杆的顶端侧壁上和水平固定支杆的两端侧壁上均开设有内螺纹通孔,每个内螺纹通孔处均配装有一顶紧螺栓,垂直固定支杆的顶端和水平固定支杆的两端分别可活动的插入一活动支架,并通过相应顶紧螺栓固定活动支架。使用本实用新型装置观察样品顶部和左右两侧是否超出装置上相应的活动支架,即可快速准确判断样品尺寸是否在安全尺寸范围,保证样品和设备使用安全。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 扫描电镜 快速 高限 装置 | ||
【主权项】:
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