[实用新型]一种基于微滴的压电驱动微流量泵装置

摘要

本实用新型公开了一种基于微滴的压电驱动微流量泵装置，包括电子驱动器、MEMS微型鼓风机和微流量泵体，所述电子驱动器的内部设有压电元件，所述电子驱动器的左侧连接有压电振子，所述压电振子通过驱动电路与微流量泵体连接，且微流量泵体的内部设有MEMS微型鼓风机，所述微流量泵体的上侧连接有液体储存器，所述微流量泵体左端设有空气压力传感器，所述空气压力传感器的左侧连接有输送管道，所述输送管道的左侧连接有微型提升器，本实用新型可连续调整泵的流量,准确率高,响应时间快，由于成本低廉,该装置特别适用于需要完全系统集成和流量控制自动化的应用,可以提供微量位移和动力输出，可以应用于需要大负载、微量精密位移的应用场合。

主权项

1.一种基于微滴的压电驱动微流量泵装置，包括电子驱动器（1）、MEMS 微型鼓风机（8）、微流量泵体（3）、空气压力传感器（5）和驱动电路（2），其特征在于：所述电子驱动器（1）的内部设有压电元件（11），所述电子驱动器（1）的左侧连接有压电振子（10），所述压电振子（10）通过驱动电路（2）与微流量泵体（3）连接，且微流量泵体（3）的内部设有MEMS 微型鼓风机（8），所述微流量泵体（3）的上侧连接有液体储存器（4），所述微流量泵体（3）的下侧连接有水平溶液库（9），所述微流量泵体（3）的左端设有空气压力传感器（6），所述空气压力传感器（6）的左侧连接有输送管道（7），所述输送管道（7）的左侧连接有微型提升器（6），所述MEMS 微型鼓风机（8）的两侧设有输入管（13）和输出管（12）。/n