[实用新型]一种安全的单晶炉炉底板有效
| 申请号： | 201920484429.0 | 申请日： | 2019-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN210065977U | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 焦尚彬;蒋剑 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 11315 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨洲 |
| 地址： | 710048*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种安全的单晶炉炉底板，其安装在单晶炉底座支架上，其上安装主炉室，单晶炉炉底板包括炉底本体、供坩埚杆通过的坩埚杆孔、抽气孔、电极孔、炉内热场安装面、水封板、炉底水冷槽环路、进水口和出水口，炉内热场安装面位于炉底本体上部，为整板无焊缝加工而成，其位于单晶炉炉腔真空室内部，水封板和炉底本体下部焊接，位于单晶炉炉腔真空室外部，炉底水冷槽环路位于炉底本体和水封板之间，进水口位于坩埚杆孔侧壁，出水口位于单晶炉炉底板边缘处。本实用新型采用焊缝在真空室外部的设计，防止漏水对人员和设备产生不安全隐患；坩埚杆孔、电极孔和抽气孔的内壁均采用双面焊接结构，加强了真空室内部焊缝的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 坩埚杆 炉底板 水封板 本实用新型 真空室内部 焊缝 安装面 抽气孔 出水口 电极孔 进水口 室外部 底水 冷槽 炉腔 内热 底座支架 防止漏水 双面焊接 边缘处 不安全 孔侧壁 无焊缝 主炉室 内壁 整板 焊接 加工 安全 | ||
【主权项】：
1.一种安全的单晶炉炉底板，包括炉底本体(3)、供坩埚杆通过的坩埚杆孔(1)、抽气孔(6)、电极孔(7)，所述坩埚杆孔(1)、所述抽气孔(6)和所述电极孔(7)位于单晶炉炉底板上，其特征在于，还包括炉内热场安装面(4)、水封板(5)、炉底水冷槽环路(2)、进水口(8)和出水口(9)，所述炉内热场安装面(4)与所述炉底本体(3)上部连接，所述炉内热场安装面(4)为整板无焊缝加工而成，位于单晶炉炉腔真空室内部，所述水封板(5)和所述炉底本体(3)下部焊接，位于单晶炉炉腔真空室外部，所述炉底水冷槽环路位于炉底本体(3)和水封板(5)之间，所述进水口(8)位于所述坩埚杆孔(1)侧壁，所述出水口(9)位于单晶炉炉底板边缘处。/n
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