[实用新型]一种安全的单晶炉炉底板

说明书

本实用新型提供一种安全的单晶炉炉底板，其安装在单晶炉底座支架上，其上安装主炉室，单晶炉炉底板包括炉底本体、供坩埚杆通过的坩埚杆孔、抽气孔、电极孔、炉内热场安装面、水封板、炉底水冷槽环路、进水口和出水口，炉内热场安装面位于炉底本体上部，为整板无焊缝加工而成，其位于单晶炉炉腔真空室内部，水封板和炉底本体下部焊接，位于单晶炉炉腔真空室外部，炉底水冷槽环路位于炉底本体和水封板之间，进水口位于坩埚杆孔侧壁，出水口位于单晶炉炉底板边缘处。本实用新型采用焊缝在真空室外部的设计，防止漏水对人员和设备产生不安全隐患；坩埚杆孔、电极孔和抽气孔的内壁均采用双面焊接结构，加强了真空室内部焊缝的安全性。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体涉及一种安全的单晶炉炉底板。

背景技术

单晶炉炉底板安装在单晶炉底座支架上，其上安装主炉室，是单晶炉真空室的基础部件，在炉底部件上根据热场的种类和规格开有安装加热电极和抽空管道以及供坩埚杆通过所需要的开孔，以及真空检测所用的检测孔。传统的单晶炉炉底板焊缝在真空室内部，在拉制单晶的过程中，真空室处于负压高温的环境下，若炉底板的焊缝出现泄漏，会出现冷却水急速泄漏进真空室并迅速气化膨胀，发生事故，对人员和设备都会造成严重威胁。

实用新型内容

本实用新型是为了解决现有技术存在的问题，提供了一种安全的单晶炉炉底板。

本实用新型的技术方案是：

一种安全的单晶炉炉底板，包括炉底本体、供坩埚杆通过的坩埚杆孔、抽气孔、电极孔，坩埚杆孔、抽气孔和电极孔位于单晶炉炉底板上，还包括炉内热场安装面、水封板、炉底水冷槽环路、进水口和出水口，炉内热场安装面与炉底本体上部连接，炉内热场安装面为整板无焊缝加工而成，位于单晶炉炉腔真空室内部，水封板和炉底本体下部焊接，位于单晶炉炉腔真空室外部，炉底水冷槽环路位于炉底本体和水封板之间，进水口位于坩埚杆孔侧壁，出水口位于单晶炉炉底板边缘处。

进一步地，坩埚杆孔、抽气孔、电极孔的内壁均采用双面焊接结构。

本实用新型具有如下有益效果：1、采用焊缝在真空室外部的设计，防止漏水对人员和设备产生不安全隐患；2、坩埚杆孔、电极孔和抽气孔的内壁均采用双面焊接结构，加强了真空室内部焊缝的安全性。

附图说明

图1是安全炉底的剖视图；

图2是图1的俯视图；

图3是图1立体侧视图；

图4是图1立体仰视图；

图中：1-坩埚杆孔；2-炉底水冷槽环路；3-炉底本体；4-炉内热场安装面；5-水封板；6-抽气孔；7-电极孔；8-进水口；9-出水口。

具体实施方式

如图1-3，一种安全的单晶炉炉底板，其安装在单晶炉底座支架上，包括炉底本体3、供坩埚杆通过的坩埚杆孔1、抽气孔6、电极孔7，坩埚杆孔1、抽气孔6和电极孔7位于单晶炉炉底板上，还包括炉内热场安装面4、水封板5、炉底水冷槽环路2、进水口8和出水口9，炉内热场安装面4与炉底本体3上部连接，炉内热场安装面4为整板无焊缝加工而成，其位于单晶炉炉腔真空室内部，水封板5和炉底本体3下部焊接，其位于单晶炉炉腔真空室外部，炉底水冷槽环路2位于炉底本体3和水封板5之间，进水口8位于坩埚杆孔1侧壁，出水口9位于单晶炉炉底板边缘处。

坩埚杆孔1、抽气孔6、电极孔7的内壁均采用双面焊接结构。