[实用新型]干燥设备有效
| 申请号： | 201920471468.7 | 申请日： | 2019-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN209833004U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 韩平;余磊 | 申请（专利权）人： | 广东聚华印刷显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B41J11/00 | 分类号： | B41J11/00 |
| 代理公司： | 44224 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 林青中;黄爱娇 |
| 地址： | 510000 广东省广州市广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种干燥设备，包括干燥腔体，干燥腔体的顶壁上具有布孔区，布孔区分布有多个通气孔；随靠近布孔区的中部，通气孔的孔径逐渐增大；或者，干燥设备还包括多个调节装置，多个调节装置设置在干燥腔体的顶壁上，调节装置具有遮挡机构，遮挡机构能够相对于通气孔运动以调节通气孔的通气面积。上述干燥设备，可提高成膜的均匀性，提高器件良率。 | ||
| 搜索关键词： | 通气孔 调节装置 干燥腔体 干燥设备 布孔 遮挡机构 顶壁 本实用新型 逐渐增大 均匀性 成膜 良率 通气 | ||
【主权项】：
1.一种干燥设备，其特征在于，包括干燥腔体，所述干燥腔体内具有供待干燥样品放置的放置台，所述干燥腔体的与所述放置台相对设置的顶壁上具有布孔区，所述布孔区分布有多个通气孔；/n随靠近所述布孔区的中部，所述通气孔的孔径逐渐增大；或者，所述干燥设备还包括多个调节装置，多个所述调节装置设置在所述干燥腔体的顶壁上，所述调节装置具有遮挡机构，所述遮挡机构能够相对于所述通气孔运动以调节所述通气孔的通气面积。/n
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