[实用新型]一种半导体晶圆检测旋转平台

摘要

本实用新型提供一种半导体晶圆检测旋转平台，其特征在于：包括电控箱，旋转机构，第一平台，第二平台，支撑杆和吸附机构，本实用新型的吸附机构和旋转机构的设置，晶圆放置在旋转台固定后，抽风机启动运行，旋转台上形成负压，通过多个分气孔将半导体晶圆吸附在旋转台上，对半导体晶圆起到了固定的作用，使之不会偏离旋转平台中心，抽风管上端与旋转机构通过旋转接头活动连接，避免旋转台旋转过程中抽风管随着旋转台一起旋转，连接快速方便，抽风机运行过程中产生振动，在抽风机下方设置橡胶垫片，起到缓冲振动的作用，提高使用寿命，电控箱控制旋转电机通电运行，旋转电机带动旋转台转动，实现旋转台的快速精确调整，提高检测装置的检测效率。

主权项

1.一种半导体晶圆检测旋转平台，其特征在于：包括电控箱(1)，旋转机构(2)，第一平台(3)，第二平台(4)，支撑杆(5)和吸附机构(6)，所述电控箱(1)通过螺栓与支撑杆(5)固定连接；所述第二平台(4)下端设置有防滑垫；所述支撑杆(5)采用4根，通过螺栓固定在第二平台(4)的上端四角；所述第一平台(3)通过螺栓固定在支撑杆(5)的上端；所述吸附机构(6)通过螺栓固定在第二平台(4)上端的中间位置；所述旋转机构(2)通过螺栓固定在第一平台(3)上端的中间位置。