[实用新型]一种MEMS催化燃烧传感器有效
| 申请号： | 201920436723.4 | 申请日： | 2019-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN209853722U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 王宣诏 | 申请（专利权）人： | 深圳邺诚科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 44316 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于传感器技术领域，具体涉及一种MEMS催化燃烧传感器及其加工方法。所述一种MEMS催化燃烧传感器，包括第一薄膜部分、第二薄膜部分，所述第二薄膜部分的两侧分别通过第一多孔磁性层对称连接所述第一薄膜部分；所述第一薄膜部分包括硅基底，以及以硅基底为衬底依次设置的第一氮化硅薄膜层、第一氧化硅薄膜层、第一加热敏感电阻层；所述第二薄膜部分包括依次设置的第二氮化硅薄膜层、第二氧化硅薄膜层、第二加热敏感电阻层、贵金属催化层；具有抗中毒、响应迅速和信噪比高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 催化燃烧传感器 氮化硅薄膜层 敏感电阻 依次设置 硅基 加热 传感器技术领域 二氧化硅薄膜 氧化硅薄膜层 本实用新型 贵金属催化 对称连接 多孔磁性 信噪比 衬底 响应 加工 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS催化燃烧传感器，其特征在于，包括第一薄膜部分、第二薄膜部分，所述第二薄膜部分的两侧分别通过第一多孔磁性层对称连接所述第一薄膜部分；/n所述第一薄膜部分包括硅基底，以及以硅基底为衬底依次设置的第一氮化硅薄膜层、第一氧化硅薄膜层、第一加热敏感电阻层；/n所述第二薄膜部分包括依次设置的第二氮化硅薄膜层、第二氧化硅薄膜层、第二加热敏感电阻层、贵金属催化层。/n
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