[实用新型]一种激光位移传感器的校准装置有效
申请号: | 201920435321.2 | 申请日: | 2019-04-02 |
公开(公告)号: | CN209512775U | 公开(公告)日: | 2019-10-18 |
发明(设计)人: | 郑伟峰;蒋淑恋;郑尚榜;谢汉斌;陈炯宇 | 申请(专利权)人: | 厦门市计量检定测试院 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 深圳市博锐专利事务所 44275 | 代理人: | 张明 |
地址: | 361000 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种激光位移传感器的校准装置,包括激光校准组件、导轨、光栅尺和支架;导轨上沿轴向依次设有两个感应件;支架位于两个感应件之间且沿导轨的轴向可移动设置;激光校准组件包括沿导轨轴向依次对应设置的激光干涉仪、分光镜和反光镜,反光镜设于支架上;光栅尺与导轨平行设置;支架上设有转盘,转盘可转动设置,使得放置于转盘上的待校准的激光位移传感器的感应端朝向任意一个感应件。所述激光位移传感器的校准装置操作方便且适用性更强。 | ||
搜索关键词: | 激光位移传感器 导轨 支架 校准装置 感应件 转盘 反光镜 激光校准 光栅尺 本实用新型 激光干涉仪 可转动设置 轴向可移动 平行设置 组件包括 校准 导轨轴 分光镜 感应端 轴向 | ||
【主权项】:
1.一种激光位移传感器的校准装置,其特征在于,包括激光校准组件、导轨、光栅尺和支架;所述导轨上沿轴向依次设有两个感应件;所述支架位于两个感应件之间且沿导轨的轴向可移动设置;所述激光校准组件包括沿导轨轴向依次对应设置的激光干涉仪、分光镜和反光镜,所述反光镜设于支架上;所述光栅尺与导轨平行设置;所述支架上设有转盘,所述转盘可转动设置,使得放置于转盘上的待校准的激光位移传感器的感应端朝向任意一个感应件。
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