[实用新型]保持环及包括其的载体头有效
| 申请号： | 201920430432.4 | 申请日： | 2019-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN210099717U | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 赵珳技;崔在荣 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健;张国香 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种保持环及包括其的载体头。就根据一个实施例的对基板进行夹紧的载体头的保持环而言，所述保持环设置为对所述被夹紧的基板的边缘区域进行包围，并且可形成相对于所述基板的边缘区域可变化的间距。 | ||
| 搜索关键词： | 保持 包括 载体 | ||
【主权项】：
暂无信息
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