[实用新型]一种剪切增稠-电泳复合抛光加工装置有效

专利信息
申请号: 201920387854.8 申请日: 2019-03-26
公开(公告)号: CN209754726U 公开(公告)日: 2019-12-10
发明(设计)人: 李敏;宋方增;董婷;刘明辉;黄振荣;唐成 申请(专利权)人: 湖南科技大学
主分类号: B24B1/00 分类号: B24B1/00;B24B27/00;B24B41/06;B24B57/02;C25F3/16;C25F7/00
代理公司: 33241 杭州斯可睿专利事务所有限公司 代理人: 王利强
地址: 411201 *** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 一种剪切增稠‑电泳复合抛光加工装置,包括抛光垫、直流电源、主轴、抛光盘、第一电极、机械臂、工件夹具、集液器和抛光液池,所述工件夹具为第二电极,直流电源的正负极分别与所述第一电极、第二电极连接;所述的抛光盘在主轴上,由主轴带动抛光盘,第一电极在抛光盘上,绝缘层在第一电极上,抛光垫在所述绝缘层上,工件夹具位于抛光垫的上方,机械臂上设有工件夹具;所述抛光盘位于所述抛光液池内,所述抛光液池的回流口与集液器连接,所述集液器与输液管连接,所述输液管的出口为加工工位。本实用新型提供一种高效的、低/无表面损伤或亚表面损伤的剪切增稠‑电泳复合超精密抛光加工装置。
搜索关键词: 抛光盘 第一电极 工件夹具 集液器 抛光垫 抛光液 绝缘层 电泳 第二电极 加工装置 剪切增稠 直流电源 机械臂 输液管 本实用新型 超精密抛光 亚表面损伤 表面损伤 复合抛光 加工工位 回流口 正负极 复合 出口
【主权项】:
1.一种剪切增稠-电泳复合抛光加工装置,其特征在于,所述装置包括抛光垫、直流电源、主轴、抛光盘、第一电极、机械臂、工件夹具、集液器和抛光液池,所述工件夹具为第二电极,直流电源的正负极分别与所述第一电极、第二电极连接;所述的抛光盘在主轴上,由主轴带动抛光盘,第一电极在抛光盘上,绝缘层在第一电极上,抛光垫在所述绝缘层上,工件夹具位于抛光垫的上方,机械臂上设有工件夹具;所述抛光盘位于所述抛光液池内,所述抛光液池的回流口与集液器连接,所述集液器与输液管连接,所述输液管的出口为加工工位。/n
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