[实用新型]用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器有效
| 申请号： | 201920385539.1 | 申请日： | 2019-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN209930536U | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 王静强;黄锡钦 | 申请（专利权）人： | 昆山基侑电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/78 | 分类号： | H05B3/78 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种包括包括外壳、内壳、盘管和加热线圈的用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器，所述内壳安装于外壳中，两者之间填充有保温棉；所述盘管的螺旋管部位于所述内壳中，两根入液管位于所述外壳的外部，所述加热线圈的加热丝位于所述内壳中，电连接部位于所述外壳的外部，盘管延长了化学品被加热的路径以及加热器的同时加热量，提高了加热器的加热速度；所述外壳、内壳、盘管均由316等级的不锈钢制成，所述盘管的内管壁涂布有PFA涂层。本实用新型中的外壳、内壳和盘管均由316等级的不锈钢焊接制成，盘管内壁涂布PFA涂层，导热性能佳，能实现化学品的快速加热，保证了化学品的洁净度。 | ||
| 搜索关键词： | 内壳 盘管 化学品 加热器 本实用新型 加热线圈 加热 半导体湿法 不锈钢焊接 电连接部位 在线加热器 导热性能 快速加热 盘管内壁 保温棉 加热量 加热丝 洁净度 螺旋管 内管壁 入液管 外部 不锈钢 填充 保证 | ||
【主权项】：
1.用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器，其特征在于，包括外壳、内壳、盘管和加热线圈；所述内壳安装于外壳中，两者之间填充有保温棉；所述盘管的螺旋管部位于所述内壳中，两根入液管位于所述外壳的外部；所述加热线圈的加热丝位于所述内壳中，电连接部位于所述外壳的外部；所述外壳、内壳、盘管均由316等级的不锈钢制成，所述盘管的内管壁涂布有PFA涂层。/n
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