[实用新型]用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器

说明书

本实用新型提供了一种包括包括外壳、内壳、盘管和加热线圈的用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器，所述内壳安装于外壳中，两者之间填充有保温棉；所述盘管的螺旋管部位于所述内壳中，两根入液管位于所述外壳的外部，所述加热线圈的加热丝位于所述内壳中，电连接部位于所述外壳的外部，盘管延长了化学品被加热的路径以及加热器的同时加热量，提高了加热器的加热速度；所述外壳、内壳、盘管均由316等级的不锈钢制成，所述盘管的内管壁涂布有PFA涂层。本实用新型中的外壳、内壳和盘管均由316等级的不锈钢焊接制成，盘管内壁涂布PFA涂层，导热性能佳，能实现化学品的快速加热，保证了化学品的洁净度。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产设备技术领域，特别是指用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器。

背景技术

半导体湿法工艺过程中化学品因特殊的工艺要求，这些化学品需要快速加速并保持洁净度。当前化学品加热是把电炉丝加热器直接放置在化学品中加热，或者是通过加热水，利用管路循环在化学品中间接加热，主要存在以下缺陷：1、直接投放加热器，加热器容易老化和损坏；2、加热器表面洁净度达不到要求，会给化学品造成污染，影响晶圆的良率或者直接报废；3、用水或者其他介质通过管路间接加热，消耗能耗大，湿度控制精度差，影响芯片生产良率或者直接报废。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的上述不足和缺陷，提供一种用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器，以解决上述问题。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案如下：

用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器，包括外壳、内壳、盘管和加热线圈；所述内壳安装于外壳中，两者之间填充有保温棉；所述盘管的螺旋管部位于所述内壳中，两根入液管位于所述外壳的外部；所述加热线圈的加热丝位于所述内壳中，电连接部位于所述外壳的外部；所述外壳、内壳、盘管均由316等级的不锈钢制成，所述盘管的内管壁涂布有PFA涂层。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述外壳包括壳体和壳盖，所述加热线圈的电连接端固定于所述壳盖中。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述内壳中设置有用于支撑所述盘管的支撑柱。

进一步的是，所述支撑柱的两端均设置有螺牙孔，支撑柱的一端抵接在所述内壳底部并以螺栓固定，另一端抵接在所述壳盖上并以螺栓固定。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述内壳的底部设置有螺柱，所述外壳的底部对应所述螺柱处设置有通孔，以一螺栓锁进螺柱中将所述内壳与外壳固连。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述盘管的两根入液管均安装于所述壳盖中。

进一步的是，所述壳盖对应入液管处设置有密封环，所述入液管从所述密封环中穿过。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型中的外壳、内壳和盘管均由316等级的不锈钢焊接制成，密封性能良好，导热性能佳，能实现化学品的快速加热；

2.本实用新型在盘管内壁涂布PFA涂层，保证了化学品的洁净度；

3.本实用新型在内壳与外壳之间填充保温棉，可防止加热温度透出伤人，减少热量损失，提高了加热速率；

4.本实用新型中的盘管延长了化学品被加热的路径以及加热器的同时加热量，不仅提高了加热器的加热速度，还实现了化学品供应量满足制程需求的目的。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1是实施例中公开的用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器的立体图；