[实用新型]单晶炉石墨坩埚提升机构有效
申请号: | 201920294725.4 | 申请日: | 2019-03-08 |
公开(公告)号: | CN210085618U | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 曹建伟;傅林坚;胡建荣;高宇;倪军夫;叶钢飞;王鹏飞;吴虞超;谭庆 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B29/06 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 312300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型是关于单晶硅制备设备领域,特别涉及一种单晶炉石墨坩埚提升机构。包括提升架;提升架为环形,沿周向均布若干通孔;旋转机构包括旋转轴及锁紧块;旋转轴有多根,顶部设于提升架上的通孔内,并通过垫环与锁紧块固定;每个旋转轴底端均设有提升块;锁紧块上端面上设有腰型槽;转盘设于提升架上方,转盘周向均布多个腰型孔,旋转轴顶端设于腰型孔内;转盘下端面设有若干导向件,导向件下端设于锁紧件的腰型孔内,并能沿着腰型槽移动。本实用新型与手工装卸相比,本实用新型不会对坩埚表面造成材料污染,也不必将坩埚切成三瓣,既节省人力又节省物力。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉 石墨 坩埚 提升 机构 | ||
【主权项】:
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