[实用新型]单晶炉石墨坩埚提升机构有效

专利信息
申请号: 201920294725.4 申请日: 2019-03-08
公开(公告)号: CN210085618U 公开(公告)日: 2020-02-18
发明(设计)人: 曹建伟;傅林坚;胡建荣;高宇;倪军夫;叶钢飞;王鹏飞;吴虞超;谭庆 申请(专利权)人: 浙江晶盛机电股份有限公司
主分类号: C30B15/10 分类号: C30B15/10;C30B29/06
代理公司: 杭州中成专利事务所有限公司 33212 代理人: 周世骏
地址: 312300 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型是关于单晶硅制备设备领域,特别涉及一种单晶炉石墨坩埚提升机构。包括提升架;提升架为环形,沿周向均布若干通孔;旋转机构包括旋转轴及锁紧块;旋转轴有多根,顶部设于提升架上的通孔内,并通过垫环与锁紧块固定;每个旋转轴底端均设有提升块;锁紧块上端面上设有腰型槽;转盘设于提升架上方,转盘周向均布多个腰型孔,旋转轴顶端设于腰型孔内;转盘下端面设有若干导向件,导向件下端设于锁紧件的腰型孔内,并能沿着腰型槽移动。本实用新型与手工装卸相比,本实用新型不会对坩埚表面造成材料污染,也不必将坩埚切成三瓣,既节省人力又节省物力。
搜索关键词: 单晶炉 石墨 坩埚 提升 机构
【主权项】:
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