[实用新型]一种压电传感器有效
申请号: | 201920275145.0 | 申请日: | 2019-03-04 |
公开(公告)号: | CN210142660U | 公开(公告)日: | 2020-03-13 |
发明(设计)人: | 陈显锋 | 申请(专利权)人: | 佛山市卓膜科技有限公司 |
主分类号: | H01L41/053 | 分类号: | H01L41/053;H01L41/113;G01L1/16;G01H11/08 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 胡枫 |
地址: | 528251 广东省佛山市南海区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种压电传感器,包括底座、设置在底座上的第一胶粘层,设置在第一胶粘层上的压电薄膜层、设置在压电薄膜层上的第二胶粘层、设置在第二胶粘层上的质量块、以及盖设在底座上的外壳,所述压电薄膜层包括支撑体,依次设置在支撑体上的第一电极、压电薄膜和第二电极,所述压电薄膜的厚度为0.1‑10μm,所述外壳与质量块顶部直接或间接接触,且所述外壳的截面形状为多边形。本实用新型的压电传感器结构简单、体积小、重量轻、且适用于批量化生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 压电 传感器 | ||
【主权项】:
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