[实用新型]晶圆边缘抛光装置有效
| 申请号： | 201920270796.0 | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN209831278U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 潘雪明;李鑫;苏静洪 | 申请（专利权）人： | 天通日进精密技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/00;B24B41/06;B24B47/12;B24B47/20 |
| 代理公司： | 31309 上海巅石知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 张明;王再朝 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开一种晶圆边缘抛光装置，包括晶圆承载台和晶圆边缘抛光机构，其中，晶圆边缘抛光机构可包括抛光转盘和均匀设置的多个边缘抛光组件，每一个边缘抛光组件具有翻转主体以及分别设于翻转主体相对两端的边缘抛光件和页片，通过驱动抛光转盘旋转，利用页片可带动边缘抛光组件相对抛光转盘作预设幅度的翻转以令边缘抛光组件上的边缘抛光件针对晶圆承载台所承载的晶圆进行边缘抛光，整个结构简单，边缘抛光件与晶圆的相对位置易于控制，提高了晶圆边缘抛光的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 边缘抛光 晶圆边缘 抛光转盘 翻转 晶圆承载台 抛光机构 晶圆 页片 均匀设置 抛光装置 整个结构 圆边缘 抛光 预设 种晶 承载 驱动 申请 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆边缘抛光装置，其特征在于，包括：/n晶圆承载台，用于承载晶圆；/n晶圆边缘抛光机构，包括：抛光转盘；均匀设置的多个边缘抛光组件，每一个边缘抛光组件包括轴接于所述抛光转盘边缘的翻转主体、设于所述翻转主体底部的边缘抛光件、以及设于所述翻转主体顶部的页片；转盘旋转电机，用于驱动所述抛光转盘旋转；转盘移位机构，用于驱动所述抛光转盘移位至对应所述晶圆承载台的边缘抛光位置；/n其中，在所述抛光转盘被所述转盘旋转电机驱动以第一转向旋转时，由所述页片带动所述的翻转主体及边缘抛光件相对所述抛光转盘朝外翻转；在所述抛光转盘被所述转盘旋转电机驱动以第二转向旋转时，由所述页片带动所述的翻转主体及边缘抛光件相对所述抛光转盘朝内翻转以令所述边缘抛光件针对晶圆进行边缘抛光。/n
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