[实用新型]基于二氧化硅平面光波导的2×2集成光开关有效
| 申请号： | 201920263059.8 | 申请日： | 2019-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN209606662U | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 冯吉军;孙晓宇;林圣福 | 申请（专利权）人： | 苏州科沃微电子有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35;G02B6/122;G02F1/00;G02F1/01;G02F1/21 |
| 代理公司： | 上海湾谷知识产权代理事务所(普通合伙) 31289 | 代理人： | 李晓星 |
| 地址： | 215431 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于二氧化硅平面光波导的2×2集成光开关，包括：硅基衬底；覆盖于所述硅基衬底上的二氧化硅缓冲层；折射率高于所述二氧化硅缓冲层，并镀在所述二氧化硅缓冲层上的二氧化硅芯层；覆盖于所述二氧化硅芯层上的二氧化硅上包层。其中，所述二氧化硅芯层的芯层波导为两个多模干涉仪组成的马赫‑曾德干涉仪，该马赫‑曾德干涉仪的马赫‑曾德干涉臂下埋有用于对波导进行加热以调制相位的金属电极。通过调节附加在金属电极上的电压可实现光信号在波导输出端口的切换。具有结构简单、成本低、高消光比、低偏振相关损耗等优点，在未来高速动态光网中的光路切换节点处具有重要的潜在应用。 | ||
| 搜索关键词： | 二氧化硅 芯层 二氧化硅缓冲层 集成光开关 平面光波导 金属电极 硅基衬 波导 二氧化硅上包层 波导输出端口 本实用新型 多模干涉仪 调制相位 高速动态 光路切换 低偏振 干涉臂 干涉仪 节点处 消光比 折射率 覆盖 光网 加热 干涉 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基于二氧化硅平面光波导的2×2集成光开关，其特征在于，包括：硅基衬底；覆盖于所述硅基衬底上的二氧化硅缓冲层；折射率高于所述二氧化硅缓冲层，并镀在所述二氧化硅缓冲层上的二氧化硅芯层；以及覆盖于所述二氧化硅芯层上的二氧化硅上包层；其中，所述二氧化硅芯层的芯层波导为两个多模干涉仪组成的马赫‑曾德干涉仪，该马赫‑曾德干涉仪的马赫‑曾德干涉臂下埋有用于对波导进行加热以调制相位的金属电极。
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