[实用新型]一种曝光用激光换能吸收结构有效
申请号: | 201920258185.4 | 申请日: | 2019-02-28 |
公开(公告)号: | CN209343133U | 公开(公告)日: | 2019-09-03 |
发明(设计)人: | 蔡志国;张米好;余加辉 | 申请(专利权)人: | 深圳凯世光研股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 深圳市合道英联专利事务所(普通合伙) 44309 | 代理人: | 廉红果;侯峰 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种曝光用激光换能吸收结构,其特征在于:包括转运平台、曝光组件和至少一组吸收组件,所述曝光组件设置在所述转运平台上方,所述吸收组件相对设置在所述曝光组件的底部,所述吸收组件包括基板和敷设在所述的基板底部吸光层,所述基板与所述曝光组件连接。本实用新型通过曝光组件对转运平台上的电路板曝光的过程当中,电路板产生反光,反光反射到吸收组件,吸收组件吸收波长较短的电磁波,反射波长较长的电磁波,被反射的电磁波对转运平台上的电路板不起作用,如此减少曝光过程当中,紫外线的反射,有利于电路板曝光工艺的准确。 | ||
搜索关键词: | 曝光组件 吸收组件 电路板 转运平台 电磁波 基板 反射 本实用新型 吸收结构 反光 换能 曝光 激光 反射波长 曝光工艺 曝光过程 吸收波长 相对设置 吸光层 紫外线 | ||
【主权项】:
1.一种曝光用激光换能吸收结构,其特征在于:包括转运平台、曝光组件和至少一组吸收组件,所述曝光组件设置在所述转运平台上方,所述吸收组件相对设置在所述曝光组件的底部,所述吸收组件包括基板和敷设在所述的基板底部吸光层,所述基板与所述曝光组件连接。
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