[实用新型]一种半导体材料研磨液生产用精馏釜有效
| 申请号： | 201920239890.X | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN209934113U | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 朱斌;石志成;齐维达;周少伟 | 申请（专利权）人： | 石家庄优士科电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D3/14 | 分类号： | B01D3/14 |
| 代理公司： | 13130 石家庄领皓专利代理有限公司 | 代理人： | 任军培;李婷 |
| 地址： | 050000 河北省石家庄市高*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及研磨液生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种半导体材料研磨液生产用精馏釜，其可以回收溶液中蒸发的水分，方便对其进行回收再利用，减少对水资源的浪费；并且可以提高对研磨液的加热均匀性，提高其精馏效果；包括工作箱和加热装置；还包括箱盖、液化箱、隔板、多组导热管、上传输管和下传输管，液化箱右侧壁顶部和底部分别连通设置有出水管和进水管；还包括电机、主动轴、主动轮、从动轴、从动轮、传动链条、上滑轮、两组下滑轮和多组搅拌叶，主动轴右侧壁和从动轴左右两端分别设置有上连接杆和两组下连接杆，箱盖顶部右半区域设置有右固定板，工作箱左侧壁顶端和底端分别连通设置有进液管和出液管。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨液 连通设置 传输管 从动轴 工作箱 液化箱 右侧壁 主动轴 两组 半导体材料 隔板 本实用新型 加热均匀性 回收 传动链条 附属装置 加热装置 区域设置 上连接杆 下连接杆 箱盖顶部 右固定板 出水管 出液管 从动轮 导热管 搅拌叶 进水管 进液管 精馏釜 上滑轮 下滑轮 再利用 主动轮 左侧壁 底端 精馏 箱盖 蒸发 电机 水资源 生产 | ||
【主权项】：
1.一种半导体材料研磨液生产用精馏釜，包括工作箱(1)和加热装置(2)，工作箱(1)内设置有工作腔，并在工作箱(1)顶部设置有取放口，取放口与工作腔相通，工作箱(1)底部设置有安装槽，加热装置(2)安装在安装槽内；其特征在于，还包括箱盖(3)、液化箱(4)、隔板(5)、多组导热管(6)、上传输管(7)和下传输管，所述箱盖(3)安装在工作箱(1)顶部，所述液化箱(4)安装在工作箱(1)右侧壁上，并在液化箱(4)内设置有液化腔，所述隔板(5)纵向安装在液化箱(4)内中央区域，所述多组导热管(6)分别穿过并固定在隔板(5)上，所述上传输管(7)输入端和输出端分别与工作箱(1)右侧壁顶端和液化箱(4)顶部左半区域连通，所述下传输管输入端与液化箱(4)底部左半区域连通，并在液化箱(4)右侧壁顶部和底部分别连通设置有出水管(8)和进水管；还包括电机(9)、主动轴(10)、主动轮(11)、从动轴、从动轮、传动链条(12)、上滑轮(13)、两组下滑轮和多组搅拌叶(14)，所述电机(9)安装与箱盖(3)顶部左半区域，所述主动轴(10)左端与电机(9)右侧壁输出端处连接，所述主动轮(11)和从动轮上分别设置有两组固定孔，并且主动轮(11)和从动轮分别套装固定至主动轴(10)和从动轴外壁中央区域，所述传动链条(12)穿过箱盖(3)并包裹在主动轮(11)和从动轮外侧壁上，所述主动轴(10)右侧壁和从动轴左右两端分别设置有上连接杆(15)和两组下连接杆，所述上滑轮(13)和两组下滑轮分别安装在上连接杆(15)和两组下连接杆上，所述箱盖(3)顶部右半区域设置有右固定板(16)，所述右固定板(16)左侧壁设置有上滑槽，所述工作箱(1)内左侧壁和内右侧壁中央区域分别设置有两组下滑槽，所述上滑轮(13)和两组下滑轮分别位于上滑槽和两组下滑槽内，所述多组搅拌叶(14)均安装在从动轴上，并且多组搅拌叶(14)均位于工作箱(1)内，所述工作箱(1)左侧壁顶端和底端分别连通设置有进液管(17)和出液管，并在进液管(17)和出液管上分别设置有上开关阀(18)和下开关阀。/n
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