[实用新型]一种集成OLED光源的表面量子点湿度传感器有效
申请号: | 201920230443.8 | 申请日: | 2019-02-22 |
公开(公告)号: | CN210136171U | 公开(公告)日: | 2020-03-10 |
发明(设计)人: | 王国东;曹国华;朱红伟;王康佳;杨莹丽 | 申请(专利权)人: | 河南理工大学 |
主分类号: | G01N21/64 | 分类号: | G01N21/64;G01N27/12;B82Y40/00 |
代理公司: | 北京华仁联合知识产权代理有限公司 11588 | 代理人: | 苏雪雪 |
地址: | 454000 河南省焦作*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种集成OLED光源的表面量子点湿度传感器,包括:表面量子点湿度传感层,表面量子点湿度传感层包括:在GaAs衬底(01)上从下到上依次设置的n型GaAs缓冲层、N层InGaAs掩埋量子点层、以及InGaAs表面量子点层;且在n型GaAs缓冲层上形成由InGaAs掩埋量子点层组成的第一台阶,以及在第一台阶上形成由InGaAs表面量子点层组成的第二台阶;在第一台阶的两侧及露出的上表面和第二台阶的上表面及两侧,设置有钝化层;在钝化层上设置有腐蚀出的两个引线孔,并在两个引线孔中分别设置有传感上电极和传感下电极;在InGaAs表面量子点层露出的上表面一端,设置有OLED光源层。 | ||
搜索关键词: | 一种 集成 oled 光源 表面 量子 湿度 传感器 | ||
【主权项】:
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