[实用新型]一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构有效
| 申请号： | 201920206531.4 | 申请日： | 2019-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN209248250U | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 薛荣 | 申请（专利权）人： | 麦佧仕光电科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 成都明涛智创专利代理有限公司 51289 | 代理人： | 丁国勇 |
| 地址： | 200120 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光刻机技术领域，特别涉及一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，其技术方案要点是，包括壳体、灯板和灯珠，所述灯板上开设有若干个反光碗，若干个所述反光碗呈圆周方向分布，且若干个所述反光碗均匀的分布在六个照射区中，相邻的所述照射区中的所述反光碗位于不同圆周方向上，所述灯珠嵌设在所述反光碗内；所述灯板沿圆周方向滑动连接在所述壳体的内壁；设有六个照射区，且每个反光区中的反光碗都是位于不同的圆周方向上的，这样就可以填补每个照射区径向方向上的反光碗之间的间隙，使光源的照射不留死点，同时配合灯板在一定角度下转动，可以使每个照射区的光线都均匀的照射到产品上，使产品的固化更加均匀有效。 | ||
| 搜索关键词： | 反光碗 照射区 灯板 光刻机 阵列结构 步进式 灯珠 壳体 照射 技术方案要点 本实用新型 沿圆周方向 滑动连接 反光区 固化 光源 内壁 死点 转动 填补 配合 | ||
【主权项】：
1.一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，包括壳体(1)、灯板(2)和灯珠(3)，其特征在于：所述灯板(2)上开设有若干个反光碗(22)，若干个所述反光碗(22)呈圆周方向分布，且若干个所述反光碗(22)均匀的分布在六个照射区(201)中，相邻的所述照射区(201)中的所述反光碗(22)位于不同圆周方向上，所述灯珠(3)嵌设在所述反光碗(22)内；所述灯板(2)沿圆周方向滑动连接在所述壳体(1)的内壁，所述灯板(2)的滑动角度大于六十度。
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