[实用新型]一种双面探针结构及双面探针台有效
| 申请号： | 201920202578.3 | 申请日： | 2019-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN209878814U | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 林生财;肖乐;吴芳;王胜利 | 申请（专利权）人： | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R1/073 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种双面探针结构。所述双面探针结构包括，机架；第一探针架，通过导向滑轨连接于机架；第二探针架，通过导向滑轨连接于机架；调节螺杆，包括正旋螺纹段和反向螺纹段；所述正旋螺纹段螺接于第一探针架，所述反向螺纹段螺接于第二探针架；所述调节螺杆连接于机架；所述调节螺杆旋转，带动第一探针架和第二探针架沿导向滑轨相向运动/背离运动。 | ||
| 搜索关键词： | 探针架 导向滑轨 调节螺杆 反向螺纹段 正旋螺纹段 双面探针 螺接 本实用新型 背离运动 相向运动 | ||
【主权项】：
1.一种双面探针结构，用于测试双面晶片，其特征在于：所述双面探针结构（100）包括，/n机架（20）；/n第一探针架（31），通过导向滑轨（40）连接于机架（20）；/n第二探针架（32），通过导向滑轨（40）连接于机架（20）；/n调节螺杆（50），包括正旋螺纹段（51）和反向螺纹段（52）；所述正旋螺纹段（51）螺接于第一探针架（31），所述反向螺纹段（52）螺接于第二探针架（32）；所述调节螺杆（50）连接于机架（20）；所述调节螺杆（50）旋转，带动第一探针架（31）和第二探针架（32）沿导向滑轨（40）相向运动/背离运动。/n
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