[实用新型]检测系统

摘要

本申请涉及一种检测系统，包含载台、探针装置、处理装置及压力感测单元。压力感测单元可以设置于载台或是整合于探针装置中。压力感测单元设置于载台的实施例中，处理装置控制探针抵压待测件前，将先控制探针抵压于压力感测单元，据以产生压力感测信息。压力感测单元整合于探针装置的实施例中，处理装置控制探针抵压于电性连接部时，压力感测单元将对应产生压力感测信息。处理装置通过探针对待测件完成检测作业后，可以对应产生包含检测结果、探针下压位移量及压力感测信息的检测信息，相关人员则可以通过检测信息，了解探针抵压于电性连接部的作用力。

主权项

1.一种检测系统，其特征在于，所述检测系统用以对一待测件进行一检测作业，所述检测系统包含：一载台，其用以承载所述待测件；一探针装置，其包含有至少一探针；一处理装置，其电性连接所述探针装置，所述处理装置能控制所述探针装置作动，以使各个所述探针相对于所述待测件移动至一零点位置或一下压位置；各个所述探针位于所述零点位置时，所述处理装置能控制各个所述探针沿Z轴再移动一下压位移量，以使各个所述探针移动至所述下压位置，据以抵压所述待测件的电性连接部；当各个所述探针抵压于所述待测件的电性连接部时，所述处理装置能对所述待测件进行所述检测作业；一压力感测单元，其设置于所述载台；其中，所述处理装置能控制所述探针装置，以使各个所述探针接触所述压力感测单元的表面，且所述处理装置能控制各个所述探针沿Z轴移动所述下压位移量，而使所述压力感测单元对应产生一压力感测信息。