[实用新型]检测系统

权利要求书

1.一种检测系统，其特征在于，所述检测系统用以对一待测件进行一检测作业，所述检测系统包含：

一载台，其用以承载所述待测件；

一探针装置，其包含有至少一探针；

一处理装置，其电性连接所述探针装置，所述处理装置能控制所述探针装置作动，以使各个所述探针相对于所述待测件移动至一零点位置或一下压位置；各个所述探针位于所述零点位置时，所述处理装置能控制各个所述探针沿Z轴再移动一下压位移量，以使各个所述探针移动至所述下压位置，据以抵压所述待测件的电性连接部；当各个所述探针抵压于所述待测件的电性连接部时，所述处理装置能对所述待测件进行所述检测作业；

一压力感测单元，其设置于所述载台；

其中，所述处理装置能控制所述探针装置，以使各个所述探针接触所述压力感测单元的表面，且所述处理装置能控制各个所述探针沿Z轴移动所述下压位移量，而使所述压力感测单元对应产生一压力感测信息。

2.依据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述处理装置能通讯连接一外部电子设备，以接收所述下压位移量；所述处理装置能控制各个所述探针，于接触所述待测件前，先接触所述压力感测单元的表面，并使各个所述探针沿Z轴移动所述下压位移量，而使所述压力感测单元对应产生所述压力感测信息。

3.依据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包含一输入设备，所述输入设备电性连接所述处理装置，所述输入设备能提供使用者操作，以修改所述下压位移量。

4.依据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包含有一零点感知件，各个所述探针于所述零点位置时，所述零点感知件与各个所述探针分离，各个所述探针于所述待测件的上方时，所述零点感知件与至少一所述探针相接触；所述零点感知件与各个所述探针相接触时，所述零点感知件与所述探针短路连接，所述零点感知件与各个所述探针分离时，所述零点感知件与所述探针断路连接。

5.依据权利要求4所述的检测系统，其特征在于，所述处理装置电性连接所述探针装置及所述零点感知件，而所述处理装置能感测所述零点感知件与其中一个所述探针彼此间的连接状态；当所述零点感知件与其中一个所述探针由短路连接转换为断路连接时，所述处理装置再控制各个所述探针沿Z轴移动所述下压位移量。

6.一种检测系统，其特征在于，所述检测系统用以对一待测件进行一检测作业，所述检测系统包含：

一载台，其用以承载所述待测件；

一探针装置，其包含有至少一探针及一压力感测单元；

一处理装置，其电性连接所述探针装置，所述处理装置能控制所述探针装置作动，以使各个所述探针相对于所述待测件移动至一零点位置或一下压位置；各个所述探针位于所述零点位置时，所述处理装置能控制各个所述探针沿Z轴再移动一下压位移量，以使各个所述探针移动至所述下压位置，据以抵压所述待测件的电性连接部；当各个所述探针抵压于所述待测件的电性连接部时，所述压力感测单元能对应产生一压力感测信息，且所述处理装置能对所述待测件进行所述检测作业。

7.依据权利要求6所述的检测系统，其特征在于，所述处理装置能通讯连接一外部电子设备，以接收所述下压位移量。

8.依据权利要求6所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包含一输入设备，所述输入设备电性连接所述处理装置，所述输入设备能提供使用者操作，以修改所述下压位移量。

9.依据权利要求6所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包含有一零点感知件，各个所述探针于所述零点位置时，所述零点感知件与各个所述探针分离，各个所述探针于所述待测件的上方时，所述零点感知件与至少一所述探针相接触；所述零点感知件与各个所述探针相接触时，所述零点感知件与所述探针短路连接，所述零点感知件与各个所述探针分离时，所述零点感知件与所述探针断路连接。

10.依据权利要求9所述的检测系统，其特征在于，所述处理装置电性连接所述探针装置及所述零点感知件，而所述处理装置能感测所述零点感知件与其中一个所述探针彼此间的连接状态；当所述零点感知件与其中一个所述探针由短路连接转换为断路连接时，所述处理装置再控制各个所述探针沿Z轴移动所述下压位移量。