[实用新型]一种应用于薄片样品研磨去层过程中的定位装置有效
| 申请号： | 201920196591.2 | 申请日： | 2019-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN209579184U | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 肖将楚;冉红锋;朱毅 | 申请（专利权）人： | 深圳长城开发科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B49/02;G01N1/28 |
| 代理公司： | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人： | 郭伟刚 |
| 地址： | 518109 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种应用于薄片样品研磨去层过程中的定位装置，所述定位装置包括基座、样品台和微分头；所述基座的内部空间分为上收容腔和下收容腔；所述样品台仅可上下移动地容置于所述上收容空间内，所述样品台的上表面与所述基座的上端面平行；所述微分头自下而上地伸入所述下收容腔内，所述微分头与所述基座之间通过紧固件固定，所述微分头的输出杆对准所述样品台用于推动所述样品台上下移动。采用上述结构的定位装置时，将样品放置在样品台的上表面，通过微分头推动样品台以微米级地进给量向上移动，使得样品需要去除的部分高于基座的上端面，然后通过手动慢速研磨，去除掉样品的高出基座的上端面的部分，从而达到精确去层的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 样品台 微分头 定位装置 研磨 薄片样品 下收容腔 上表面 上端面 可上下移动 上收容腔 收容空间 向上移动 样品放置 紧固件 进给量 输出杆 微米级 上端 除掉 慢速 伸入 去除 平行 应用 对准 移动 | ||
【主权项】：
1.一种应用于薄片样品研磨去层过程中的定位装置，其特征在于，所述定位装置包括基座、样品台和微分头；所述基座的内部空间分为上收容腔和下收容腔；所述样品台仅可上下移动地容置于所述上收容空间内，所述样品台的上表面与所述基座的上端面平行；所述微分头自下而上地伸入所述下收容腔内，所述微分头与所述基座之间通过紧固件固定，所述微分头的输出杆对准所述样品台用于推动所述样品台上下移动。
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