[实用新型]一种抽真空设备及镀膜设备有效
| 申请号： | 201920170372.7 | 申请日： | 2019-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN210012898U | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 樊成龙;沈雷 | 申请（专利权）人： | 苏州矩阵光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 11250 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李博洋 |
| 地址： | 215614 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及机械技术领域，公开了一种抽真空设备及镀膜设备，其中抽真空设备包括：腔体；抽真空组件与所述腔体连接，用于抽取所述腔体内的流体；冷却组件具有冷凝件，所述冷凝件与所述腔体内的流体接触，所述冷凝件具有预设温度，用于将所述腔体内的流体转换为预设状态，以减少所述腔体内的流体。利用抽真空组件和腔体连接，对腔体内流体进行抽真空；通过冷凝组件对腔体内的流体进行预设转换，以减少腔体内的流体，抽真空组件可以独立使用进行抽真空；在冷凝组件对腔体内的流体进行预设转换时，抽真空组件对腔体内部流体进行抽真空，通过把部分流体进行预设转换，减少腔体内的流体；使得抽真空时间缩短，提升设备使用率。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 体内 抽真空组件 抽真空 预设 冷凝件 腔体 转换 抽真空设备 冷凝组件 机械技术领域 本实用新型 独立使用 镀膜设备 冷却组件 流体接触 腔体内部 时间缩短 提升设备 体内流体 预设状态 使用率 抽取 | ||
【主权项】：
1.一种抽真空设备，其特征在于，包括：/n腔体(12)；/n抽真空组件(13)，与所述腔体(12)连接，用于抽取所述腔体(12)内的流体；/n冷却组件(11)，具有冷凝件(111)；其中，所述冷凝件(111)与所述腔体(12)内的流体接触，所述冷凝件(111)具有预设温度，用于将所述腔体(12)内的流体转换为预设状态，以减少所述腔体(12)内的流体。/n
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