[实用新型]一种水性蚀刻光阻剂的循环回收装置

摘要

本实用新型涉及光阻涂布机技术领域，且公开了一种水性蚀刻光阻剂的循环回收装置，包括涂布平台，涂布平台内开设有空腔，涂布平台的上表面开设有连通空腔的导料口，且导料口的内壁上对称固定连接有支撑块，两个支撑块的上表面共同固定连接有基板，基板的上表面安装有匹配的旋转杆，且旋转杆的旋转面积覆盖导料口，空腔内滑动连接有匹配的移动板，移动板的两端均固定连接有滑块，空腔的内壁对应滑块的位置处开设有匹配的滑槽，且滑块与滑槽滑动连接，滑块的下表面固定连接有弹簧，弹簧的另一端固定连接在滑槽对应的侧壁上。本实用新型使得水性蚀刻光阻剂可以进行循环回收，有效避免资源的浪费。

主权项

1.一种水性蚀刻光阻剂的循环回收装置，包括涂布平台（1），其特征在于，所述涂布平台（1）内开设有空腔（2），所述涂布平台（1）的上表面开设有连通空腔（2）的导料口（3），且导料口（3）的内壁上对称固定连接有支撑块（4），两个所述支撑块（4）的上表面共同固定连接有基板（5），所述基板（5）的上表面安装有匹配的旋转杆（6），且旋转杆（6）的旋转面积覆盖导料口（3），所述空腔（2）内滑动连接有匹配的移动板（7），所述移动板（7）的两端均固定连接有滑块（8），所述空腔（2）的内壁对应滑块（8）的位置处开设有匹配的滑槽（9），且滑块（8）与滑槽（9）滑动连接，所述滑块（8）的下表面固定连接有弹簧（10），所述弹簧（10）的另一端固定连接在滑槽（9）对应的侧壁上，所述空腔（2）内部的下表面固定连接有多个均匀分布的楔块（11），所述楔块（11）的另一端贯穿移动板（7）并向上延伸，所述涂布平台（1）的下表面固定连接有收集箱（12），且收集箱（12）与空腔（2）相连通。