[实用新型]一种靶材外观缺陷检测装置有效
| 申请号： | 201920153817.0 | 申请日： | 2019-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN209727792U | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 许锐;马燃;李锐 | 申请（专利权）人： | 武汉精立电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 42104 武汉开元知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄行军;高炳龙<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 430205 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种靶材外观缺陷检测装置，其包括基座，基座上设置有用于承载定位靶材的定位装置、用于检测靶材平整度的检测装置和用于移动靶材检测装置的位移装置，检测装置包括用于检测靶材背面的背检相机、用于检测靶材正面的正检相机和用于检测靶材侧面的侧检相机，背检相机设置于定位装置下方，正检相机和侧检相机设置于定位装置上方，正检相机和侧检相机均与位移装置连接。本实用新型不仅结构简单、使用方便，而且能够一次实现靶材多个表面的同时检测。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 相机 定位装置 检测装置 检测 本实用新型 位移装置 相机设置 外观缺陷检测装置 平整度 承载 侧面 | ||
【主权项】：
1.一种靶材外观缺陷检测装置，包括基座，所述基座上设置有用于承载定位靶材的定位装置、用于检测靶材平整度的检测装置和用于移动靶材检测装置的位移装置，其特征在于：所述检测装置包括用于检测靶材背面的背检相机、用于检测靶材正面的正检相机和用于检测靶材侧面的侧检相机，所述背检相机设置于所述定位装置下方，所述正检相机和所述侧检相机设置于所述定位装置上方，所述正检相机和所述侧检相机均与所述位移装置连接。/n
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