[实用新型]一种精密选区激光退火装置

摘要

本实用新型提供了一种精密选区激光退火装置，包括：本体，所述本体包括上下两个容置空间，为第一、第二容置空间；激光发射装置在所述第一容置空间内部顶端，发射出不同波段的激光光源；振镜单元位于所述第一容置空间内，接收激光光源并进行传输；透镜单元设置在所述第一容置空间与所述第二容置空间的连接面上，样品台设置在所述第二容置空间内部底面的基座上，用于放置样品，所述样品接收从所述透镜单元透射的激光，且，所述基座的高度可进行调节。解决退火位置不能精确选择，退火过程复杂且不可控，工作效率低的技术问题。达到自由空间区域的精密选择，通过激光聚焦直接加热的方式在退火温度及退火速率方面获得更高的提升的技术效果。

主权项

1.一种精密选区激光退火装置，其特征在于，所述装置包括：本体，所述本体包括上下两个容置空间，其中，位于上方的为第一容置空间，位于下方的为第二容置空间；激光发射装置，所述激光发射装置设置在所述第一容置空间内部顶端，发射出不同波段的激光光源；振镜单元，所述振镜单元位于所述第一容置空间内，接收所述激光发射装置发射的激光光源并进行传输；透镜单元，所述透镜单元设置在所述第一容置空间与所述第二容置空间的连接面上，接收所述振镜单元传输的激光，并将所述激光透射至所述第二容置空间；样品台，所述样品台设置在所述第二容置空间内部底面的基座上，用于放置样品，所述样品接收从所述透镜单元透射的激光，且，所述基座的高度可进行调节。