[实用新型]一种镀膜机用旋转装置有效
申请号: | 201920130524.0 | 申请日: | 2019-01-24 |
公开(公告)号: | CN209481787U | 公开(公告)日: | 2019-10-11 |
发明(设计)人: | 杨群生;苏纪荣 | 申请(专利权)人: | 青岛汇聚机械设备有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266061 山东省青岛*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种镀膜机用旋转装置,包括箱体、第一固定座、第二固定座、盒体以及固定杆,其特征在于,所述第一固定座安置于箱体上壁面,所述箱体上壁面开设有第一通孔,所述第一通孔位于第一固定座上方,所述第一通孔内安装有第一轴承,且与第一固定座相连接,所述第二固定座安置于箱体下壁面,所述盒体安置于箱体下壁面,本实用新型涉及镀膜机生产设备技术领域,解决了现有的真空镀膜装置中的旋转装置结构较为复杂,并且在转动时存在镀膜死角,造成材料镀膜不充分,并且现有的镀膜装置不具备集气功能,当一些有毒靶材镀膜完成打开仓体时,会散发一些有毒气体,工作人员长期处于这种环境中,会产生疾病的问题。 | ||
搜索关键词: | 固定座 旋转装置 镀膜机 通孔 本实用新型 箱体上壁 箱体下壁 盒体 安置 真空镀膜装置 材料镀膜 镀膜死角 镀膜装置 生产设备 固定杆 靶材 仓体 镀膜 轴承 转动 气功 散发 疾病 | ||
【主权项】:
1.一种镀膜机用旋转装置,包括箱体(1)、第一固定座(2)、第二固定座(3)、盒体(4)以及固定杆(5),其特征在于,所述第一固定座(2)安置于箱体(1)上壁面,所述箱体(1)上壁面开设有第一通孔,所述第一通孔位于第一固定座(2)上方,所述第一通孔内安装有第一轴承,且与第一固定座(2)相连接,所述第二固定座(3)安置于箱体(1)下壁面,所述盒体(4)安置于箱体(1)下壁面,所述盒体(4)下壁面开设有一对结构相同的第二通孔,一对所述第二通孔内安装有一对结构相同的第二轴承,所述箱体(1)下壁面以及盒体(4)上壁面开设有一对结构相同的第三通孔,且位于一对所述第二通孔上方,一对所述第三通孔位于第二固定座(3)下方,一对所述第三通孔内安装有一对结构相同的第三轴承,所述固定杆(5)安置于第一固定座(2)以及第二固定座(3)之间,所述固定杆(5)上安装有若干挂钩,所述箱体(1)下方安装有旋转结构,所述箱体(1)上方安装有集气装置;所述旋转结构,其包括:伺服电机(6)、第一齿轮(7)、转杆(8)以及第二齿轮(9);所述伺服电机(6)安置于箱体(1)下壁面,所述第一齿轮(7)安置于伺服电机(6)驱动端,所述转杆(8)一段安置于一对所述第二轴承内,所述转杆(8)另一端安置于一对所述第三轴承内,且与第二固定座(3)相连接,所述第二齿轮(9)套装于转杆(8)上,所述第一齿轮(7)与第二齿轮(9)相啮合;所述集气结构,其包括:吸气管(10)、气泵(11)、排气管(12)以及收集箱(13);所述气泵(11)安置于箱体(1)上壁面,所述吸气管(10)一端贯穿于箱体(1)上壁面,所述吸气管(10)另一端安置于气泵(11)吸气孔内,所述排气管(12)一端安置于气泵(11)排气端,所述收集箱(13)安置于箱体(1)左侧,所述排气管(12)另一端贯穿于收集箱(13)内。
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