[实用新型]一种双轴陀螺仪有效
| 申请号： | 201920126484.2 | 申请日： | 2019-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN209783599U | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 李桂新 | 申请（专利权）人： | 无锡微泰传感封测技术有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656;G01C19/5663 |
| 代理公司： | 32330 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 刘刚 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新区菱*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于陀螺仪技术领域，具体涉及一种双轴陀螺仪，包括基座、设置在所述基座上的电路板、设置在所述电路板上的振子支撑构件和空心电感器、安装在所述振子支撑构件上的陀螺振子，空心电感器的一端电性连接至所述陀螺振子，而另一端电性连接至电路板，陀螺振子为圆盘状，所述陀螺振子上表面设有压电薄膜驱动电极、信号检测电极以及模态检测电极，所述陀螺振子下表面连接有支撑圆柱和电位参考电极，所述支撑圆柱另一端固定在载体上。本实用新型提出的一种双轴陀螺仪采用MEMS微细加工技术，结构简单，能实现双轴检测，加工工艺易于实现，可靠性高，功耗低，抗冲击性强，不需要真空封装，在恶劣的环境下能够很好的工，经济技术安全效益显著。 | ||
| 搜索关键词： | 陀螺振子 电路板 本实用新型 双轴陀螺仪 电性连接 空心电感 支撑构件 支撑圆柱 振子 压电薄膜驱动电极 电位参考电极 模态检测电极 微细加工技术 信号检测电极 陀螺仪技术 安全效益 经济技术 抗冲击性 真空封装 上表面 下表面 圆盘状 功耗 双轴 检测 | ||
【主权项】：
1.一种双轴陀螺仪，其特征在于：包括基座、设置在所述基座上的电路板、设置在所述电路板上的振子支撑构件和空心电感器、安装在所述振子支撑构件上的陀螺振子，所述空心电感器的一端电性连接至所述陀螺振子，而另一端电性连接至所述电路板，所述陀螺振子为圆盘状，所述陀螺振子上表面设有压电薄膜驱动电极、信号检测电极以及模态检测电极，所述陀螺振子下表面连接有支撑圆柱和电位参考电极，所述支撑圆柱另一端固定在载体上。/n
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