[实用新型]一种矽晶片吹砂装置

摘要

本实用新型公开了一种矽晶片吹砂装置，立架固定于基板的其中一侧边，立架的上端设置有两个间隔分布的第一滑轨，第一滑块滑动连接于第一滑轨，第一滑块的上部设置有两个间隔分布的第二滑轨，第二滑块滑动连接于第二滑轨，空气泵安装于第二滑块的上端，气嘴安装于第二滑块的下端部，空气泵通过连接管连通于气嘴。本实用新型有益效果：本实用新型设置有第一滑轨、第二滑轨、第一滑块、第二滑块、空气泵、连接管和气嘴，空气泵产生的空气通过连接管从气嘴吹出，对矽晶片进行吹砂，将矽晶片的砂粒吹走，保证了矽晶片的工艺制作精度和质量，第一滑块可沿着第一滑轨纵向移动，第二滑块可沿着第二滑轨横向移动。

主权项

1.一种矽晶片吹砂装置，其特征在于：包括基板(1)、立架(2)、第一滑轨(8)、第二滑轨(9)、第一滑块(3)、第二滑块(4)、空气泵(12)、连接管(15)和气嘴(13)，所述立架(2)固定于所述基板(1)的其中一侧边，所述立架(2)的上端设置有两个间隔分布的所述第一滑轨(8)，所述第一滑块(3)滑动连接于所述第一滑轨(8)，所述第一滑块(3)的上部设置有两个间隔分布的所述第二滑轨(9)，所述第二滑块(4)滑动连接于所述第二滑轨(9)，所述空气泵(12)安装于所述第二滑块(4)的上端，所述气嘴(13)安装于所述第二滑块(4)的下端部，所述空气泵(12)通过连接管(15)连通于所述气嘴(13)。