[实用新型]一种散射式低温扫描近场光学显微镜有效
| 申请号： | 201920096744.6 | 申请日： | 2019-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN209542654U | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 王文杰 | 申请（专利权）人： | 仪晟科学仪器（嘉兴）有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/18 | 分类号： | G01Q60/18;G01Q60/22 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 翁斌 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴市南湖区亚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种散射式低温扫描近场光学显微镜，包括冷台、设置于冷台底部的样品扫描平台和探针扫描平台、抛物面镜平台以及底座，所述样品扫描平台包括扫描台，扫描台上设置有弹性夹片和样品架，样品架可插拔的夹于扫描台和弹性夹片之间以便于更换样品；所述探针扫描平台位于样品扫描平台相对一侧，包括连接于冷台底部的针尖耦合提取平台和针尖托，针尖托上固定有探针，针尖托以磁吸式连接于针尖耦合提取平台并且与扫描台相对以便于更换探针对样品进行扫描；所述抛物面镜平台设置于底座上以会聚外部激光于探针处并收集带有样品信息的散射光于外部探测器。本实用新型可以同时实现原位换探针和换样品，操作简单兼容性强。 | ||
| 搜索关键词： | 针尖 样品扫描 扫描台 冷台 探针 低温扫描近场 本实用新型 光学显微镜 弹性夹片 抛物面镜 探针扫描 耦合 散射式 样品架 底座 扫描 磁吸式连接 外部探测器 平台设置 样品信息 兼容性 可插拔 散射光 会聚 激光 外部 | ||
【主权项】：
1.一种散射式低温扫描近场光学显微镜，其特征在于，包括冷台、样品扫描平台、探针扫描平台、抛物面镜平台以及底座，其中：所述样品扫描平台设置于冷台底部，所述样品扫描平台包括扫描台，所述扫描台上设置有弹性夹片和样品架，所述样品架可插拔的夹于扫描台和弹性夹片之间以便于更换样品；所述探针扫描平台设置于冷台底部且位于样品扫描平台相对一侧，所述探针扫描平台包括连接于冷台底部的针尖耦合提取平台和针尖托，所述针尖托上固定有探针，所述针尖托以磁吸式连接于所述针尖耦合提取平台并且与所述扫描台相对以便于更换探针对样品进行扫描；所述抛物面镜平台设置于底座上，所述抛物面镜平台用于会聚外部激光于探针处并收集带有样品信息的散射光于外部探测器。
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