[实用新型]一种36根加热器的四氯化硅热氢化炉底盘有效
| 申请号： | 201920077389.8 | 申请日： | 2019-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN209468128U | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 罗旭峰;牛秀敏;黄昀 | 申请（专利权）人： | 乐山师范学院 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 余小飞;钱成岑 |
| 地址： | 614000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种36根加热器的四氯化硅热氢化炉底盘，属于氢化炉底盘技术领域。包括底盘和72个电极，底盘上设置有反应尾气出气孔；所述底盘上设置有与底盘同心且沿底盘圆心向底盘的外围方向依次扩展的电极一环环形中心线、电极二环环形中心线、电极三环环形中心线、电极四环环形中心线和电极五环环形中心线。6个电极均匀分布在电极一环环形中心线上，6组电极均匀分布在电极二环环形中心线上，每组2个；6个电极均匀分布在电极三环环形中心线上；6组电极均匀分布在电极四环环形中心线上，每组4个；其余24个电极两两均匀分布在电极五环中心线上，共12组，每组2个。本实用新型底盘能够容纳更多的加热器，可以大幅度提升四氯化硅的处理量。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 环形中心 底盘 加热器 四氯化硅 本实用新型 炉底盘 热氢化 二环 三环 五环 氢化炉底盘 底盘圆心 反应尾气 出气孔 处理量 容纳 同心 外围 | ||
【主权项】：
1.一种36根加热器的四氯化硅热氢化炉底盘，其特征在于，所述氢化炉底盘包括底盘和72个电极，在底盘的圆心位置设置有反应尾气出气孔；所述底盘上设置有与底盘同心且沿底盘圆心向底盘的外围方向依次扩展的电极一环环形中心线、电极二环环形中心线、电极三环环形中心线、电极四环环形中心线和电极五环环形中心线；其中，6个电极均匀分布在电极一环环形中心线上，每个电极中心与电极一环环形中心线半径方向形成的水平夹角分别为30°、90°、150°、210°、270°、330°；6组电极均匀分布在电极二环环形中心线上，每组2个电极，每组电极中心间距相同，电极二环环形中心线半径方向与每组电极中心连线所成的垂线的水平夹角分别为0°、60°、120°、180°、240°、300°；6个电极均匀分布在电极三环环形中心线上，每个电极中心与电极三环环形中心线半径方向形成的水平夹角分别为30°、90°、150°、210°、270°、330°；6组电极均匀分布在电极四环环形中心线上，每组4个电极，每组电极中心间距相同，电极四环环形中心线半径方向与每组头尾两个电极中心连线所成的垂线的水平夹角分别为0°、60°、120°、180°、240°、300°；其余24个电极两两均匀分布在电极五环中心线上，共12组，每组2个电极，每组电极中心间距相同，电极五环环形中心线（8）半径方向与每对电极中心连线所成的垂线的水平夹角分别为0°，30°，60°，90°，120°，150°，180°，210°，240°，270°，300°，330°。
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