[实用新型]一种具有双重浮动的框架对位机构

摘要

本实用新型涉及一种具有双重浮动的框架对位机构，包括机架和机架上的CCD固定板，所述的CCD固定板上设置有CCD检测装置、下方设置有对位装置，所述的对位装置包括CCD固定板下方的对位板，所述的对位板下方连接有缓冲升降组件，所述的缓冲升降组件下方连接有浮动承载机构，所述的浮动承载机构包括与框架配合的导轨座，且导轨座与缓冲升降组件连接，所述的导轨座上设置有气囊固定座，所述的气囊固定座上设置与框架配合的气囊，本实用新型的目的是提供一种具有双重浮动的框架对位机构，以双重浮动方式对上框实施缓冲升降，适应不同工位的缓冲实施，避免升降平台上升过快导致与上玻璃间的贴合力不佳而曝光不良的情况发生。

主权项

1.一种具有双重浮动的框架对位机构，包括机架（6）和机架（6）上的CCD固定底板（5），所述的CCD固定底板（5）上设置有CCD检测装置（7）、下方设置有对位装置（3），其特征在于，所述的对位装置（3）包括CCD固定底板（5）下方的对位板（31），所述的对位板（31）下方连接有缓冲升降组件，所述的缓冲升降组件下方连接有浮动承载机构（2），所述的浮动承载机构（2）包括与框架（1）配合的导轨座（20），且导轨座（20）与缓冲升降组件连接，所述的导轨座（20）上设置有气囊固定座（22），所述的气囊固定座（22）上设置与框架（1）配合的气囊（23）。