[实用新型]一种具有双重浮动的框架对位机构

说明书

本实用新型涉及一种具有双重浮动的框架对位机构，包括机架和机架上的CCD固定板，所述的CCD固定板上设置有CCD检测装置、下方设置有对位装置，所述的对位装置包括CCD固定板下方的对位板，所述的对位板下方连接有缓冲升降组件，所述的缓冲升降组件下方连接有浮动承载机构，所述的浮动承载机构包括与框架配合的导轨座，且导轨座与缓冲升降组件连接，所述的导轨座上设置有气囊固定座，所述的气囊固定座上设置与框架配合的气囊，本实用新型的目的是提供一种具有双重浮动的框架对位机构，以双重浮动方式对上框实施缓冲升降，适应不同工位的缓冲实施，避免升降平台上升过快导致与上玻璃间的贴合力不佳而曝光不良的情况发生。

技术领域

本实用新型涉及曝光设备领域，尤其涉及一种具有双重浮动的框架对位机构。

背景技术

传统的曝光机框架升降缓冲都只有一级，当曝光平台上升检查对位时会触碰到上框架，此时顶力会扩散到两侧的浮动机构上得已缓冲，但因升降平台速度较快瞬间与上框接触，无法使得上玻璃与升降平台之间的贴合力更加紧密，从而偶尔会出现曝光不良品质问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种具有双重浮动的框架对位机构，以双重浮动方式对上框实施缓冲升降，适应不同工位的缓冲实施，避免升降平台上升过快导致与上玻璃间的贴合力不佳而曝光不良的情况发生。

为了实现以上目的，本实用新型采用的技术方案为：一种具有双重浮动的框架对位机构，包括机架和机架上的CCD固定底板，所述的CCD固定底板上设置有CCD检测装置、下方设置有对位装置，所述的对位装置包括CCD固定底板下方的对位板，所述的对位板下方连接有缓冲升降组件，所述的缓冲升降组件下方连接有浮动承载机构，所述的浮动承载机构包括与框架配合的导轨座，且导轨座与缓冲升降组件连接，所述的导轨座上设置有气囊固定座，所述的气囊固定座上设置与框架配合的气囊。

优选的，所述的缓冲升降组件包括固定在对位板上的直线轴承，所述的直线轴承内穿插有导柱，所述的导轨座上开设有与导柱配合的导柱配合孔，且直线轴承位于对位板和导轨座之间的部位套接有缓冲垫。

优选的，所述的框架包括框架主体，所述的框架主体的中心设置有上玻璃、与导轨座配合的侧面设置有不锈钢导轨片、外侧设置有用于推送和抽出的框架把手，所述的导轨座上设置有水平放置的用于支持不锈钢导轨片的凸轮轴承和竖直放置的用于对不锈钢导轨片限位的凸轮轴承。

优选的，所述的CCD固定底板下方设置有四个微调装置，所述的微调装置包括通过锁紧杆安装在CCD固定底板上的微调安装座，所述的微调安装座上设置有电动拉杆，所述的电动拉杆连接有微调活动块，所述的微调活动块连接有连接组件，所述的连接组件固定在对位板的角落处，所述的连接组件与微调活动块之间能够在垂直与对应电动拉杆的方向滑动，且四个电动拉杆相互垂直设置。

附图说明

图1为一种具有双重浮动的框架对位机构的立体示意图。

图2为去掉机架和CCD检测装置后的爆炸图。

图3为浮动承载机构的立体示意图。

图4为缓冲升降组件的立体示意图。

图5为微调装置的立体示意图。

图中所示文字标注表示为：1、框架；2、浮动承载机构；3、对位装置；4、微调装置；5、CCD固定底板；6、机架；7、CCD检测装置；10、框架把手；11、不锈钢导轨片；12、上玻璃；13、框架主体；20、导轨座；21、凸轮轴承；22、气囊固定座；23、气囊；24、导柱配合孔；31、对位板；32、导柱；33、直线轴承；34、缓冲垫；41、微调安装座；42、锁紧杆；43、电动拉杆；44、微调活动块；45、连接组件。

具体实施方式