[实用新型]一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶有效

专利信息
申请号: 201920039809.3 申请日: 2019-01-10
公开(公告)号: CN209854285U 公开(公告)日: 2019-12-27
发明(设计)人: 张忠恕 申请(专利权)人: 北京凯德石英股份有限公司
主分类号: C30B31/12 分类号: C30B31/12
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100000 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型涉及一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶,包括石英管及位于石英管内部的中间挡板,所述中间挡板上设置有抽真空通气嘴,所述抽真空通气嘴相对一侧为由中间挡板与石英管底板之间构成的保温隔离层,所述抽真空通气嘴同侧的石英管上设置有开口,用于操作人员通过抽真空通气嘴对保温隔离层抽真空操作。通过设置可以随时抽真空的抽真空通气嘴,降低了保温桶生产过程中对真空保温隔离层工艺的要求,有效减低了成本,且整个装置安装方便,操作简捷,能够很好的保持石英舟加工过程中温度的恒定。
搜索关键词: 抽真空 通气嘴 石英管 中间挡板 保温隔离层 保温桶 底板 恒定 本实用新型 隔离层工艺 温度稳定性 生产过程 真空保温 装置安装 扩散炉 石英舟 石英 同侧 开口
【主权项】:
1.一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶,其特征在于:包括石英管及位于石英管内部的中间挡板,所述中间挡板上设置有抽真空通气嘴,所述抽真空通气嘴相对一侧为由中间挡板与石英管底板之间构成的保温隔离层,所述抽真空通气嘴同侧的石英管上设置有开口,用于操作人员通过抽真空通气嘴对保温隔离层抽真空操作。/n
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