[实用新型]一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶有效

专利信息
申请号: 201920039809.3 申请日: 2019-01-10
公开(公告)号: CN209854285U 公开(公告)日: 2019-12-27
发明(设计)人: 张忠恕 申请(专利权)人: 北京凯德石英股份有限公司
主分类号: C30B31/12 分类号: C30B31/12
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100000 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 抽真空 通气嘴 石英管 中间挡板 保温隔离层 保温桶 底板 恒定 本实用新型 隔离层工艺 温度稳定性 生产过程 真空保温 装置安装 扩散炉 石英舟 石英 同侧 开口
【权利要求书】:

1.一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶,其特征在于:包括石英管及位于石英管内部的中间挡板,所述中间挡板上设置有抽真空通气嘴,所述抽真空通气嘴相对一侧为由中间挡板与石英管底板之间构成的保温隔离层,所述抽真空通气嘴同侧的石英管上设置有开口,用于操作人员通过抽真空通气嘴对保温隔离层抽真空操作。

2.根据权利要求1所述的一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶,其特征在于:所述石英管具有开口的一端具有定位端,所述定位端与扩散炉定位后,通过上法兰进行固定。

3.根据权利要求1或2所述的一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶,其特征在于:所述石英管相对开口的一端具有与石英舟固定的定位装卡端,并通过下法兰进行加固。

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