[实用新型]研磨装置用承载头及用于其的隔膜有效
| 申请号： | 201920012423.3 | 申请日： | 2019-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN209466100U | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 赵珳技 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B37/32 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健;张国香 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本实用新型涉及化学机械式研磨装置的承载头及用于其的隔膜，提供一种研磨装置用承载头的隔膜及具备其的承载头，从对基板的板面加压的隔膜底板的边缘延长形成有隔膜侧面，且在隔膜侧面下侧区域配备有倾斜地延长的倾斜面，如果向最外侧压力腔室施加正压，则倾斜面向下方变形并成为隔膜底板的延长形态。 | ||
| 搜索关键词： | 隔膜 承载头 隔膜底板 研磨装置 本实用新型 机械式研磨 压力腔室 侧面 侧区域 对基板 倾斜面 板面 正压 加压 变形 施加 配备 | ||
【主权项】：
1.一种研磨装置用承载头的隔膜，作为研磨装置用承载头的隔膜，包括：底板，其以柔韧性材质形成，对基板的板面加压；侧面，其包含柔韧性材质而形成，从所述底板的边缘延长形成，且在与所述底板相接的下侧区域，具备倾斜地延长的倾斜面；固定活板，其从所述侧面固定于所述承载头。
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