[实用新型]研磨装置用承载头及用于其的隔膜

权利要求书

1.一种研磨装置用承载头的隔膜，作为研磨装置用承载头的隔膜，包括：

底板，其以柔韧性材质形成，对基板的板面加压；

侧面，其包含柔韧性材质而形成，从所述底板的边缘延长形成，且在与所述底板相接的下侧区域，具备倾斜地延长的倾斜面；

固定活板，其从所述侧面固定于所述承载头。

2.根据权利要求1所述的研磨装置用承载头的隔膜，其特征在于，

所述侧面的所述倾斜面，越向上侧，越向距所述底板中心的水平距离越远的方向倾斜地形成。

3.根据权利要求2所述的研磨装置用承载头的隔膜，其特征在于，

所述倾斜面以平坦面、曲面中任意一种形成。

4.根据权利要求1所述的研磨装置用承载头的隔膜，其特征在于，

所述侧面的上侧区域确定为所述倾斜面与所述固定活板开始延长的位置之间。

5.根据权利要求4所述的研磨装置用承载头的隔膜，其特征在于，

所述上侧区域的长度(Lu)形成为所述倾斜面的长度(Ld)的1.0～100倍的长度。

6.根据权利要求1所述的研磨装置用承载头的隔膜，其特征在于，

所述倾斜面的长度以1mm至20mm形成。

7.根据权利要求4所述的研磨装置用承载头的隔膜，其特征在于，

在所述上侧区域，结合有具有比所述底板高的刚性的环形固定体。

8.根据权利要求4所述的研磨装置用承载头的隔膜，其特征在于，

所述上侧区域相比所述倾斜面，以与所述底板构成的角度更大、更直立的姿势延长形成。

9.根据权利要求8所述的研磨装置用承载头的隔膜，其特征在于，

所述上侧区域沿垂直方向延长形成。

10.根据权利要求4所述的研磨装置用承载头的隔膜，其特征在于，

所述上侧区域包括越向上侧越从所述底板中心逐渐远离地延长形成的区间。

11.根据权利要求4所述的研磨装置用承载头的隔膜，其特征在于，

所述上侧区域包括越向上侧越向所述底板中心逐渐靠近地延长形成的区间。

12.根据权利要求1所述的研磨装置用承载头的隔膜，其特征在于，

从所述底板延长的所述侧面的所述下侧区域的下端部形成得比所述底板的平均厚度更薄。

13.根据权利要求12所述的研磨装置用承载头的隔膜，其特征在于，

所述下侧区域的下端部形成得比所述侧面的平均厚度更薄。

14.根据权利要求1所述的研磨装置用承载头的隔膜，其特征在于，

供所述侧面延长的所述底板边缘部形成得比所述底板的平均厚度更薄。

15.根据权利要求1所述的研磨装置用承载头的隔膜，其特征在于，

在所述固定活板，配备有允许长度伸缩的折叠部。

16.根据权利要求1所述的研磨装置用承载头的隔膜，其特征在于，

在位于所述倾斜面上侧的所述侧面，配备有允许长度伸缩的折叠部。

17.根据权利要求1所述的研磨装置用承载头的隔膜，其特征在于，

所述固定活板包括：第一固定活板，其从所述侧面的上部向朝向所述底板中心的内侧延长；第二固定活板，其从所述侧面上部向上侧延长后再向内侧延长。