[发明专利]温补层结构、体声波谐振器及制造方法，滤波器、电子设备在审
| 申请号： | 201911424743.0 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111092606A | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 庞慰;闫德海;张孟伦 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H3/04 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种温补层结构，包括温补层，所述温补层的端部的上侧为斜面以使得温补层的端部为楔形端面，温补层的端部的上侧与温补层的底侧之间形成的角度小于60°；覆盖在温补层上方的上种子层，其中：所述上种子层的至少一端具有延伸到温补层的外侧的延伸部。本发明还涉及一种体声波谐振器，一种温补层结构的制造方法，一种体声波谐振器的制造方法，一种滤波器以及一种电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 温补层 结构 声波 谐振器 制造 方法 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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