[发明专利]体声波谐振器、体声波谐振器组、滤波器及电子设备在审
申请号: | 201911418999.0 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN111030633A | 公开(公告)日: | 2020-04-17 |
发明(设计)人: | 杨清瑞;庞慰;张孟伦 | 申请(专利权)人: | 诺思(天津)微系统有限责任公司 |
主分类号: | H03H9/15 | 分类号: | H03H9/15;H03H9/17;H03H9/13 |
代理公司: | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人: | 汤雄军 |
地址: | 300462 天津市*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明公开了一种体声波谐振器,包括:基底;声学镜;底电极,与底电极引脚连接;顶电极,与顶电极引脚连接;压电层,设置在底电极与顶电极之间,其中:顶电极、压电层、底电极和声学镜在谐振器的厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域;绕所述有效区域呈周期性排布的多个声学孔,所述声学孔从所述压电层的上表面至少部分进入到所述压电层内。本发明还公开了一种体声波谐振器组,一种具有该谐振器或谐振器组的滤波器及具有该滤波器或谐振器或谐振器组的电子设备。 | ||
搜索关键词: | 声波 谐振器 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】:
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