[发明专利]体声波谐振器、体声波谐振器组、滤波器及电子设备

权利要求书

1.一种体声波谐振器，包括：

基底；

声学镜；

底电极，与底电极引脚连接；

顶电极，与顶电极引脚连接；

压电层，设置在底电极与顶电极之间，

其中：

顶电极、压电层、底电极和声学镜在谐振器的厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域；

绕所述有效区域呈周期性排布的多个声学孔，所述声学孔从所述压电层的上表面至少部分进入到所述压电层内。

2.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

所述有效区域的边缘位于声学镜边缘的内侧；且

所述声学孔设置在声学镜边缘与有效区域的边缘之间的区域内。

3.根据权利要求1或2所述的谐振器，其中：

所述声学孔贯穿所述压电层。

4.根据权利要求3所述的谐振器，其中：

所述声学孔贯穿所述压电层和底电极。

5.根据权利要求4所述的谐振器，其中：

所述声学镜为声学镜空腔；

所述声学孔贯穿所述压电层和底电极而与声学镜空腔相通。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的谐振器，其中：

所述声学孔沿所述顶电极引脚之外的区域绕所述有效区域设置。

7.根据权利要求1-5中任一项所述的谐振器，其中：

所述声学孔沿所述顶电极引脚以及底电极引脚之外的区域绕所述有效区域设置。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的谐振器，其中：

所述声学孔设置区域为声学孔布置区域；

所述有效区域为多边形，具有多个顶点，所述多个顶点沿周向将所述声学孔布置区域分为多个子布置区域，至少两个子布置区域内的声学孔的排布不同。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的谐振器，其中：

所述声学孔排布为单圈结构。

10.根据权利要求9所述的谐振器，其中：

所述多个声学孔绕有效区域以大小孔的方式周期变化。

11.根据权利要求1-8中任一项所述的谐振器，其中：

所述声学孔排布为在径向方向上彼此间隔开的多圈结构。

12.根据权利要求11所述的谐振器，其中：

所述多圈结构中的至少两圈之间的孔的排布不同。

13.一种体声波谐振器组，包括两个根据权利要求1-12中任一项所述的体声波谐振器，该两个体声波谐振器为第一谐振器和第二谐振器，其中：

第一谐振器的有效区域的第一非引脚边与第二谐振器的有效区域的第二非引脚边彼此平行布置，两个谐振器的声学孔包括在各自的所述非引脚边分别设置的第一非引脚边声学孔列和第二非引脚边声学孔列，第一非引脚边声学孔列和第二非引脚边声学孔列大体平行布置在所述两个非引脚边之间。

14.根据权利要求13所述的谐振器组，其中：

第一非引脚边声学孔列和第二非引脚边声学孔列之间还设置有多个组间声学孔，所述组间声学孔穿过两个谐振器的有效区域之间的压电层的至少一部分。

15.根据权利要求14所述的谐振器组，其中：

两个谐振器共用声学镜空腔，所述组间声学孔穿过两个谐振器的有效区域之间的压电层而与声学镜空腔相通；或者

两个谐振器的声学镜空腔由共用基底间隔开，所述组间声学孔穿过两个谐振器的有效区域之间的压电层而直达基底上表面。

16.一种滤波器，包括根据权利要求1-12中任一项所述的体声波谐振器或者根据权利要求13-15中任一项所述的谐振器组。

17.一种电子设备，包括根据权利要求13-15中任一项所述的谐振器组，或者根据权利要求16所述的滤波器，或者根据权利要求1-12中任一项所述的体声波谐振器。