[发明专利]一种一体化光圈镜片及制造方法有效
申请号: | 201911416049.4 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN113126186B | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 桂珞;施林波 | 申请(专利权)人: | 中芯集成电路(宁波)有限公司 |
主分类号: | G02B3/00 | 分类号: | G02B3/00;G02B5/00 |
代理公司: | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人: | 张立君 |
地址: | 315800 浙江省宁波市北*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种一体化光圈镜片及制造方法,包括:提供衬底和镜片;在所述衬底上形成键合膜;在所述键合膜表面形成光圈结构,所述光圈结构为具有中间通孔的环状结构;通过连接层将所述镜片和光圈结构粘接,所述镜片覆盖光圈结构的中间通孔;将所述衬底与所述光圈结构解键合。采用本发明的一体化光圈镜片的制造方法,采用晶圆级工艺单独形成遮光部分,通过粘接与镜片结合,使得光圈与镜片的制造工艺分离,在不增加光圈镜片体积的前提下,将镜片的材料从工艺限制中解放出来,使得更多具有优秀光学性能的镜片材料得以被采用;其有利于减小光圈镜片占用空间,可以同时满足微型成像系统中的紧凑性需求和光圈镜片的遮光性需求。 | ||
搜索关键词: | 一种 一体化 光圈 镜片 制造 方法 | ||
【主权项】:
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