[发明专利]一种机场跑道橡胶残留低温等离子处理设备

摘要

本发明提出了一种机场跑道橡胶残留低温等离子处理设备。包括等离子发生装置、气源装置和集束喷枪；气源装置用于定量向等离子发生装置内供应工作气体，等离子发生装置用于将工作气体电离为等离子体，包括射频电源以及与之相连的电极组，电极组设置在真空腔室内，真空腔室具有进气口和出气口，进气口通过气管与气源装置的出口连接；等离子发生装置还包括供电模块，供电模块包括升压变压器和电源线；集束喷枪用于将等离子体汇聚后喷射出去，集束喷枪通过金属软管与等离子发生装置的出气口连接。不会对道面造成任何损伤，而且处理过程中不会存在污染环境的有毒有害物质，本发明处理产物为二氧化碳和水，对环境十分友好。