[发明专利]环保型高稳定性面板用水系光刻胶剥离液及其制备方法在审
申请号: | 201911403997.4 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN111142341A | 公开(公告)日: | 2020-05-12 |
发明(设计)人: | 戈士勇;何珂 | 申请(专利权)人: | 江苏中德电子材料科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42 |
代理公司: | 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 | 代理人: | 曹键 |
地址: | 214400 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明实施例公开了环保型高稳定性面板用水系光刻胶剥离液及其制备方法,制备所述环保型高稳定性面板用水系光刻胶剥离液的原料包括有机溶剂、有机胺、防腐剂、表面活性剂和去离子水,且各组分的重量份数分别为有机溶剂25~70份、有机胺10~50份、防腐剂0.1~5份、表面活性剂0.1~5份、去离子水10~35份。本发明实施例提供的环保型高稳定性面板用水系光刻胶剥离液利用有机溶剂、有机胺和去离子水将光刻胶溶解并将其去除,通过将苯并三氮唑、1‑羟基苯并三氮唑、肉桂基咪唑啉和苯并咪唑配合使用能够有效避免在去除光刻胶时可能造成的金属腐蚀问题。通过添加表面活性剂能够降低剥离液的表面张力,使得溶剂在遇到深孔剥离时能将其清洗干净。 | ||
搜索关键词: | 环保 稳定性 面板 水系 光刻 剥离 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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