[发明专利]一种提高纳米金属多层膜韧性的方法有效
| 申请号： | 201911402987.9 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111020513B | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 于首明;张国君;李婷婷;胡亚娟;王文松;王涛;牛雨萱;魏新宇 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 罗笛 |
| 地址： | 710048 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种提高纳米金属多层膜韧性的方法，采用磁控溅射技术沉积一种组元材料A的第一层A |
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| 搜索关键词： | 一种 提高 纳米 金属 多层 韧性 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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