[发明专利]一种高性能CrAlSiX合金靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201911401707.2 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111188016B | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 张凤戈;张欠男;魏铁峰;李建奎;姚伟;缪磊 | 申请（专利权）人： | 苏州六九新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C21/00;C22C27/06;C22C30/00 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 刘春成;荣红颖 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市漕湖街道春*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高性能CrAlSiX合金靶材及其制备方法，其中，X为W、Mo、Nb、Ta中的一种或多种，所述高性能CrAlSiX合金靶材具有双层结构且由上层和底层复合而成，所述上层为CrAlSiX基体靶，所述CrAlSiX基体靶按原子百分比由以下成分组成：Cr＝20‑70％，Al＝20‑70％，Si＝0‑20％，X＝1‑20％；所述底层为具有良好导热性能和力学性能的金属合金。采用本发明靶材制备的刀具涂层可显著提升高速干式切削时的切削速率和刀具使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 性能 cralsix 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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